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              薄膜、厚膜壓力傳感器和壓阻傳感器測量原理


              發布日期:[2018-09-04]    作者:昊明壓力傳感器廠家


                雖然,對于大多數應用程序,傳感器原理或壓力傳感器的功能測量原理的選擇是不重要的,我們還經常被問及如何集成在我們的壓力傳感器和壓力變送器的傳感器元件的工作。首先,我們想給一個一般的定義:壓力傳感器或壓力傳感器元件的測量元件,將壓力物理量轉換為電量,壓力成正比。不同的物理效應和不同傳感器的材料如硅、陶瓷或金屬的使用。昊明采用工業測量中最常見的3個壓力的測量原理、儀器都是在我們自己的實驗室自己研制的制造:

              1. 薄膜壓力傳感器基于同樣的原則,應變計,這是網格型電阻結構的幾何拉伸和壓縮導致可測量的電阻變化引起的長度和厚度的差異引起的。用于薄膜傳感器,四個電阻安裝在惠斯登電橋形式膜片檢測壓力下膜片的變形。在“薄膜工藝,這些應變計連接到一個(如金屬)的基本要素和結構(濺射與相關的光刻和蝕刻)。
              2. 厚膜壓力傳感器,像薄膜傳感器,使用四個電阻組成的惠斯登電橋。電阻的結構是“印刷”上的基元(如陶瓷基地)采用厚膜工藝,然后在高溫燃燒。這里的電阻變化是由于膜片的變形,通過拉伸和壓縮的材料造成的幾何變化引起的。
              3. 壓阻式壓力傳感器,相比于前兩個原則,利用半導體(硅)與選擇性擴散結構測量膜片。他們使用的壓阻效應,這是基于被拉伸和壓縮引起的半導體材料的電阻變化,從而影響電子的流動應力下。

              薄膜、厚膜壓阻式壓力傳感器



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